ຄວາມສໍາຄັນຂອງເຊັນເຊີອຸນຫະພູມສູງ

ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ເທັກໂນໂລຢີເຊັນເຊີຂອງປະເທດຂອງຂ້ອຍກໍາລັງພັດທະນາຢ່າງໄວວາ, ແລະຂົງເຂດການສະຫມັກແມ່ນການຂະຫຍາຍ. ໃນຖານະເປັນປະເພດທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດຂອງເຕັກໂນໂລຢີວັດແທກທີ່ທັນສະໄຫມ, ເຕັກໂນໂລຢີໃຫມ່, ວັດສະດຸໃຫມ່ແລະຂະບວນການໃຫມ່ກໍາລັງເກີດຂື້ນເລື້ອຍໆໃນຂະແຫນງການຂອງແກັບຄວາມກົດດັນ.

ເຊັນເຊີຄວາມກົດດັນແມ່ນອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ໃນການກວດສອບສັນຍານຄວາມກົດດັນແລະປ່ຽນເປັນສັນຍານທີ່ມີໄຟຟ້າອີງຕາມກົດລະບຽບບາງຢ່າງ. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດຕ່າງໆ, ອຸດສາຫະກໍາແລະອາກາດ. ° C) ຈະລົ້ມເຫລວ, ຜົນໄດ້ຮັບໃນຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງການວັດແທກຄວາມກົດດັນ. ເພາະສະນັ້ນ, ເຊັນເຊີຄວາມກົດດັນສູງຈະກາຍເປັນທິດທາງການຄົ້ນຄວ້າທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດ.

ການຈັດປະເພດຂອງເຊັນເຊີຄວາມດັນສູງ

ອີງຕາມອຸປະກອນການທີ່ແຕກຕ່າງກັນທີ່ໃຊ້, ເຊັນເຊີຄວາມດັນອຸນຫະພູມສູງສາມາດແບ່ງອອກໄດ້, SOI (SOI) ຂອງ solyors ຄວາມກົດດັນຄວາມດັນສູງຂອງ soi ແມ່ນເຫມາະສົມທີ່ສຸດ. ດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນແນະນໍາເຊັນເຊີຄວາມກົດດັນຂອງອຸນຫະພູມສູງ.

ເຊັນເຊີຄວາມແຮງກົດດັນຂອງອຸນຫະພູມສູງ

ການພັດທະນາຂອງ solyors ຄວາມດັນສູງຂອງ SOI ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຂື້ນກັບຊັ້ນອຸປະກອນທີ່ມີການຕິດຕໍ່ລະຫວ່າງ SIO SPEEWRATE ແລະປັບປຸງຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ເນື່ອງຈາກລັກສະນະອຸນຫະພູມສູງຂອງຊັ້ນອຸປະກອນ SOI, ມັນຈະກາຍເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການກະກຽມເຊັນເຊີຄວາມດັນສູງ.

ໃນປະຈຸບັນ, solyors ຄວາມດັນອຸນຫະພູມສູງໄດ້ຖືກພັດທະນາຢ່າງປະສົບຜົນສໍາເລັດ, ແລະອຸນຫະພູມທີ່ເຮັດວຽກແມ່ນ -55 ° C; ສະຖາບັນການຄົ້ນຄວ້າທີ່ເຮັດວຽກສູງຂອງ SOI ໄດ້ພັດທະນາຢູ່ສະຖາບັນການເຮັດວຽກຂອງ SOI ນອກຈາກນັ້ນ, ສະຖາບັນຄົ້ນຄວ້າເຕັກໂນໂລຢີຂັ້ນສູງທີ່ກ້າວຫນ້າຂອງ Fatri ກໍ່ແມ່ນການປະຕິບັດວຽກງານຄົ້ນຄ້ວາທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ, ແລະໂຄງການປະຈຸບັນໄດ້ເຂົ້າສູ່ໄລຍະສະບັບ.

ຫຼັກສູດການເຮັດວຽກຂອງ sensor ຄວາມກົດດັນອຸນຫະພູມສູງຂອງ SOI

ໃນຫຼັກການ, sensor ຄວາມກົດດັນຂອງອຸນຫະພູມສູງທີ່ອຸນຫະພູມສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຜົນບັງຄັບໃຊ້ຂອງ cryste ຂອງ silicon. ຂົວສີຂາວທີ່ສະແດງໃນຮູບ 2 (ກ); ຄວາມກົດດັນກັບຄືນຢູ່ຕາມໂກນແມ່ນຕິດຢູ່ເທິງຊັ້ນຍ່ອຍຂອງ soi ເພື່ອປະກອບເປັນໂຄງສ້າງທີ່ລະອຽດອ່ອນຂອງຄວາມກົດດັນ.

ຮູບທີ 2 (A) ຂົວ WheatsTone

ໃນເວລາທີ່ໂຄງສ້າງທີ່ມີຄວາມກົດດັນ, ການຕໍ່ຕ້ານຂອງການປ່ຽນແປງຂອງອາກາດ, ເຊິ່ງເປັນສາເຫດຂອງແຮງດັນໄຟຟ້າໃຫ້ປ່ຽນແປງ, ແລະມູນຄ່າຄວາມກົດດັນຂອງ piezoresistor.

ຂະບວນການຜະລິດຂອງ SOI SEO SENSOR ຄວາມກົດດັນສູງ

ຂະບວນການກະກຽມຂອງເຊັນເຊີຄວາມກົດດັນສູງຂອງ SOI ມີຂະບວນການທີ່ມີຂະຫນາດຫລາຍຂະບວນການ. ບາງຂັ້ນຕອນສໍາຄັນແມ່ນໄດ້ຮັບການແນະນໍາໂດຍຫຍໍ້ຢູ່ບ່ອນນີ້ເພື່ອເຂົ້າໃຈຂະບວນການຂອງແກັບ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນລວມທັງການກະກຽມ piezecoresistor, ການກະກຽມນໍາກົດໂລຫະ, ແລະກົດດັນຫ້ອງການຫຸ້ມຫໍ່ສະພາ.

ກຸນແຈສໍາຄັນໃນການກະກຽມການແຕກແຍກແມ່ນຢູ່ໃນການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງ doping ແລະການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການແມ່ພິມທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງຕໍ່ມາ; ຊັ້ນນໍາໂລຫະສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນການເຊື່ອມຕໍ່ຂອງຂົວ Wheadstone; ການກະກຽມຂອງຮູບເງົາທີ່ລະອຽດອ່ອນຂອງຄວາມກົດດັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຂື້ນກັບຂະບວນການຊິລິໂຄນຊິລິໂຄນເລິກ; ການຫຸ້ມຫໍ່ຂອງຝາອັດປາກມົດລູກໂດຍປົກກະຕິແມ່ນແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມການນໍາໃຊ້ຂອງເຊັນເຊີຄວາມກົດດັນ,

ນັບຕັ້ງແຕ່ເຊັນເຊີຄວາມດັນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງໃນປະຈຸບັນບໍ່ສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານການວັດແທກຄວາມກົດດັນແລະເຄື່ອງມືອາກາດສູງໃນອະນາຄົດ, ວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມກັບ SOI ເຊັນເຊີໃນອະນາຄົດຄວນສຸມໃສ່ການແກ້ໄຂສະຖຽນລະພາບໃນໄລຍະຍາວແລະບັນຫາຄວາມຮ້ອນຂອງເຊັນເຊີທີ່ຮຸນແຮງແລະປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເຊັນເຊີຄວາມກົດດັນ. ດ້ານ

ແນ່ນອນ, ການມາເຖິງຂອງຍຸກສະຫຼາດຍັງຕ້ອງການຄວາມຮູ້ສຶກທີ່ມີຄວາມດັນສູງເຊັ່ນ: ການຊົດເຊີຍຫຼາຍ, ແລະການເກັບຮັກສາຕົວເອງໃຫ້ສໍາເລັດການເຜີຍແຜ່ຄວາມກົດດັນຂອງຄວາມຮູ້ສຶກສູງ. .